Tel:86(10)-82251642 / 82251833

產品中心

Products

探針臺臺體

您當前的位置: 首頁 >產品中心 >探針臺系列 >探針臺臺體

探針臺臺體

產品名稱: BD系列高精度探針臺

產品型號:BD-4/BD-6/BD-8/BD-12

產品詢價

產品詳細介紹 產品相關


總體規格特點:
●   重量:50kg(含顯微鏡)
●  尺寸:590mm寬*500mm長*700mm高(含顯微鏡)
●  優化的人體工學設計,便于工程師長時間舒適的操作

顯微鏡操控規格:
●   在探針臺右側有大搖桿,提起90度后,可以使顯微鏡快速傾仰抬起,方便在測試時更換物鏡鏡頭
●   顯微鏡后側有X/Y軸調節小搖輪,可調節顯微鏡在x-y方向的移動,移動范圍2"X2",精度1μm
●   顯微鏡Z軸帶有調焦粗旋鈕和細旋鈕,粗旋鈕方便快速調焦,細旋鈕方便精確調焦,使顯微鏡在Z軸方向行程50.8mm,移動精度1μm
 
臺面規格:
●  探針臺臺面平整度:5μm
●  探針臺左側有搖杠可以控制臺面快速上下升降6mm。在探針臺加裝探針卡點測wafer時方便對die的重選擇
●  探針臺右上方有轉輪搖桿,搖動時可使臺面線性上下升降,升降范圍25mm,精度1μm。在探針臺加裝探針卡點測wafer時方便對die的復位
 
卡盤(載物臺,即圖中的chuck)規格:
●  6" 卡盤,卡盤平整度:5μm,采用真空吸附方式吸附,帶真空吸附孔,中心孔徑250μm-1mm(可根據客戶需求定制孔徑大小),最小可以吸住尺寸為0.3mmX0.3mm,最大能夠吸住尺寸為6"X6"
●  卡盤可360度旋轉,旋轉角度可微調,微調精度為0.1度,帶角度鎖定旋鈕
●  卡盤X,Y軸調節旋鈕可以控制卡盤做X-Y方向的移動,移動范圍為6"X6",移動精度為1μm,為方便點測的穩定性,帶有鎖住功能。如果點測6"wafer的時候,可以保證6"wafer的每一點都能夠點測到
性能:
● 鍍金真空吸附卡盤: 對應可選4" ,6",8",12"產品
● 大旋鈕移動卡盤臺,X-Y方向行程:6"-6"
● 卡盤快速拉出裝置便于放置/拿去樣品
● 線性無回差調節
● 臺面快速升/降行程:6mm,精調升/降行程:25mm
● 樣品尺寸: 5x5mm ~ 4" 6", 8", 12"
● 卡盤平整度: 10um
● 卡盤旋轉角度:0~360°
● Chuck Theta: ±15
● 大旋鈕滑臺X-Y方向精度: 1um
● 臺面上/下升降搖桿/旋鈕
● 顯微鏡傾仰裝置

附件:
● 顯微鏡傾仰裝置
● 射頻測試探頭/電纜
● 有源探頭
● 低電流/電容測試
● 高壓測試
● 激光修復
● CCD/數字相機,USB接口
● 探針卡/封裝/PCB板夾具
● 加熱裝置
● 防震桌
● 屏蔽箱
● 顯微鏡暗場/Normarski 檢測
\\\\

相關描述

秒速赛车平台下载安装