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MP-40顯微薄膜測試儀

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MP-40顯微薄膜測試儀

產品名稱: 顯微薄膜測厚儀

產品型號:MP 40

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產品詳細介紹 產品相關


大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩定的被測量。比如:氧化物,氮化物,光刻膠,高分子聚合物,半導體(硅,單晶硅,多晶硅),半導體化合物(AlGaAs, InGaAs,CdTe, CIGS),硬涂層(碳化硅,類金剛石炭),聚合物涂層(聚對二甲苯,聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)。
測量范圍: 1 nm -800um
波長范圍: 200 nm -1700 nm
光斑直徑:200um-4um
適用于實時在線測量,多層測量,非均勻涂層, 軟件包含大量材料庫(超過500材料),新材料可以很容易的添加,支持多重算法:Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等。
測量指標:薄膜厚度,光學常數
界面友好強大: 一鍵式測量和分析。
實用的工具:曲線擬合和靈敏度分析,背景和變形校正,連接層和材料,多樣品測量,動態測量和產線批量處理。
性能參數:

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測量100nm二氧化硅薄膜,40um光斑直徑,波長范圍:200-1000nm:
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測量100nm二氧化硅薄膜,40um光斑直徑,波長范圍:200-1000nm

MProbe 40(MSP) 系統標準參數
型號 波長范圍(nm) 光譜儀/探測器 光源 厚度
Vis-MSP 400-1000 Spectrometer F4/Si CCD 3600 pixels/ ADC- 16 bit Tungsten-Halogen 10nm- 75µm
UVVisSR-MSP 200-1000 Spectrometer F4/Si CCD 2048 pixels/ ADC- 16 bit Deuterium/Tungsten-Halogen 1nm-75µm
HRVis-MSP 700-1100 Spectrometer F4/Si CCD 2048 pixels/ ADC- 14 bit /resolution Tungsten-Halogen 1µm-400µm
NIR-MSP 900-1700 F4 Spectrometer InGaAs CCD 512 pixels: ADC- 16 bit Tungsten-Halogen 50nm- 85µm
VisNIR-MSP 400-1700 Two spectrometer channels/ detectors (F4 Si 3600 pixels CCD and F4 InGaAs 512 pixels PDA) /ADC- 16 bit Tungsten-Halogen 10nm- 85µm
UVVisNIR-MSP 200-1700 Two spectrometer channels/ detectors (F4 Si 2048 pixels CCD and InGaAs 512)/ ADC – 16 bit Deuterium/Tungsten-Halogen 1nm-85µm
VisXT-MSP 800-870 F4 spectrometer/InGaAs 512 pixels PDA Tungsten-Halogen 10µm-1400µ

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